深圳市福瀚節能設備有限公司

光學微電子淨化工程之定義爲将一定空間範圍内之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并将室内之溫濕度、潔淨度、室内壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求範圍内，而所給于特别設計之密閉空間。

光學微電子淨化工程亦名無塵室或清淨室，目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路闆制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之創新發展，對于産品的高精密度化、細小型化之需求更爲迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成爲世界各國在科技發展上極爲重視的項目，而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處于領先地位。

光學微電子淨化工程一般包括：

1、 潔淨生産區

2、 潔淨輔助間（包括人員淨化用房、物料淨化用室和部分生活用室等）

3、 管理區（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、 設備區（包括淨化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房）

光學微電子淨化工程淨化原理

氣流→初效淨化→空調→中效淨化→風機送風→管道→高效淨化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌

等顆粒 → 回風百葉窗→初效淨化 重複以上過程，即可達到淨化目的。

光學微電子淨化工程淨化參數

換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。

溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右爲宜；電子車間濕度略高以免産生靜電。

噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10％－30％；照度300LX。

光學微電子淨化工程結構材料

1. 淨化廠房牆、頂闆材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼闆制造，其特點爲美觀、剛性強。圓弧牆 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地闆，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風管道用熱渡鋅闆制成，貼淨化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠闆。

4.高效送風口用不鏽鋼框架，美觀清潔，沖孔網闆用烤漆鋁闆，不生鏽不粘塵，宜清潔。

光學微電子淨化工程解決方案:

淨化工程的設計過程中，應加強對光學微電子行業淨化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結合其具體的生産工藝、生産流程等要求确定其需要的潔淨度、溫濕度。再根據該工程的具體情況，同時還要考慮到生産廠家的經濟承受能力，綜合各種因素來确定采用何種淨化方案，這樣才可設計出一個能滿足甲方生産使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的方案。

1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口

這是一個最傳統的淨化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組裏含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。

優點：

A.空氣處理效果好，因空氣經過集中處理，在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的控制比較精确;

B.比較适用于有集中冷源的或是較大的廠房;

C.空調冷熱源可與廠房普通空調系統合用或獨立冷熱源;

D.維修頻率較低;

E.車間的噪音低。

缺點：

A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調機房，如25000m3/h的組合式空氣處理機組，常用外形尺寸爲6450×1850×2250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30m的機房的;

B.造價高。

特點：

A.建議新風經過集中處理後再與回風混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;

C.這類方案一般可以适用潔淨度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的淨化無塵廠房。

2、光學微電子行業淨化工程設計方案分析之水冷櫃機+增壓風櫃+高效送風口

與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷櫃機可以根據具體的情況布置于較小機房内或淨化車間内，增壓風櫃也可以布置于機房内或吊在機房内或在夾層内。

優點：

A.空氣處理效果較好的，處理過後的空氣在送風過程中被污染程度低。送風的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風櫃)裏進行控制;

B.布置靈活。自帶冷源;

C.大小廠房、新舊廠房都适用;

D.維修頻率較低;

E.車間噪音低。

缺點：

A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

B.空調機組與空調處理機組要集中布置;

C.造價較低。特點：這種方案可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據車間的大小情況而定;這類方案一般可以适用于潔淨度爲千級、萬級、十萬級等的淨化無塵廠房。

3、光學微電子行業淨化工程設計方案分析之分體空調櫃機++FFU送風口

這是最簡易的一個空調方案。是直接将分體空調櫃機布置于車間内，并用彩鋼圍護起來，在櫃機回風口處再在彩鋼闆上開回風口(帶初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案适用于對室内溫濕度精度要求不高的無塵車間。

優點：

A.不需要占用機房面積，布置很靈活的;

B.可以滿足空氣的潔淨度;

C.造價最低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;

D.送風均勻度好。

缺點：

A.溫濕度控制較差;

B.可以滿足空氣的潔淨度;

C.FFU的維修頻率高。

4、光學微電子行業淨化工程設計方案分析之無塵車間的特點

A、無塵車間的潔淨度:

LCD制屏的簡略流程爲：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。

在本設計裏是指末端工藝的一些無塵車間，其淨化潔淨度一般爲千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類産品的沖壓車間、組裝等無塵車間，其潔淨度一般爲萬級或十萬級。

B、室内空氣參數要求 ：

(1)溫濕度要求：溫度一般爲24+2℃，相對濕度爲55+5%。

(2)新風量大。由于這類車間内，人員比較多，可以根據以下數值應取下列的最大值：非單向流潔淨室總送風量的10-30%;補償室内排風和保持室内正壓值所需的新鮮空氣量;保證室内每人每小時的新鮮 空氣量≥40m³/h。

(3)送風量大。爲了滿足潔淨室内的潔淨度及熱濕平衡，需要較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度爲2.5米的，如果是萬級，送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數，是≥25次/h);如果是十萬級，送風量就需要300×2.5×20=15000m³/h的送風量(換氣次數，是≥15次/h)。

光學微電子行業淨化工程設計方案分析對于常規電子廠房潔淨室空調的設計，應根據電子廠房的生産工藝要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調設計方案，以滿足生産工藝的要求作爲前提。根據以往經驗，對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案;對于要求不高的，又要初投資低的，可以選用櫃機+FFU。總之，具體的方案選擇根據具體情況而定。