一、潔淨室的空氣潔淨度，應進行下列測試

(一)空态、靜态測試

空态測試:潔淨室已竣工，淨化空氣調節系統已處于正常運行狀态，室内沒有工藝設備和生産人員的情況下進行測試。

靜态測試:潔淨室淨化空氣調節系統已處于正常運行狀态，工藝設備已安裝，室内沒有生産人員的情況下進行測試。

(二)動态測試

潔淨室已處于正常生産狀态下進行測試。

潔淨室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。

二、空态、靜态測試

(一)測試前的準備

1. 應對潔淨室及其淨化空氣調節系統進行徹底清潔。

2. 采用光散射粒子計數器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側靜壓箱内(或風管内)粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數應爲大于或等于30,000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然後開始檢漏。将粒子計數器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過濾器2-3厘米處，可以2-4厘米/秒的速度移動，對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。

當粒子計數器讀數爲空氣口大于或等于0.5μm的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認爲該處有明顯滲漏，必須進行堵漏。

(二)測試内容

1. 總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;

2. 潔淨室壓力值;

3. 層流潔淨室斷面風速和氣流流向;

4. 潔淨工作區的潔淨度;

5. 室内溫度、濕度及其控制能力的調整測試;

6. 潔淨室内噪聲。

(三)潔淨工作區空氣潔淨度的測試方法

對于粒徑大于或等于0.5μm的塵粒計數，宜采用光散射粒子計數法，也可采用濾膜顯微鏡計數法。

光散射粒子計數法:

1. 光散射粒子計數器采樣量100級:每次采樣量大于或等于1升。1,000級-10,000級:每次采樣量大于或等于0.3升。100,000級:每次采樣量大于或等于0.1升。對于100級潔淨室，宜采用大流量粒子計數器進行測試;如果條件不具備時，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數器。

2. 采樣注意事項:

①采樣管必須幹淨，連接處嚴禁滲漏。

②采樣管的長度，應根據儀器的允許長度。當無規定時，不宜大于1.5米。

③采樣管口的流速，宜與潔淨室斷面平均風速相接近。測試人員應在采樣口的下風側。

④采樣順序應按含塵濃度從低到高進行。

3. 測點布置:

①檢測在潔淨工作區内進行。當生産工藝無特殊要求時，取樣高度宜爲離地面1米。

②層流潔淨室測點總數不小于20點，測點間距爲0.5-2.0米，粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數允許有一個點超過。水平層流潔淨室測點僅布置在第一潔淨工作區内。

③亂流潔淨室可按潔淨面積小于或等于50平方米布置5個測點(附圖2)。每增加20-50平方米，增加3-5個測點。

4. 數據整理:

①每個測點的數據整理應在測試儀器穩定運行的條件下連續三次采樣，取其平均值，即爲該點的實測數值。

②對于大于或等于0.5μm的塵粒數确定:層流潔淨室取各測定點最大值，亂流潔淨室取各測點的平均值。

(四)正壓值測定應采用精度可達0.01毫米水柱的微壓計。

三、動态測試

在潔淨工作區操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行，測試方法同空态、靜态測試。